應用于半導體和微電子制程的微濾膜
由于關(guān)鍵的過濾應用對潔凈度要求極高,GORE?微濾膜在截留率與流速之間實現(xiàn)最佳平衡,即使在極限環(huán)境下仍然提供可靠表現(xiàn)。我們的微過濾技術(shù)確保了工藝純度和一致的高性能,幫助PTFE濾芯制造商為客戶提供最佳濾芯,以提高制程良率。
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概況
確保高潔凈度和一致的高性能
在半導體及微電子制程中,例如濕法蝕刻和清洗(WEC)、光刻和化學機械拋光(CMP)等工藝,液體純度至關(guān)重要。隨著晶體管繼續(xù)縮小到難以想象的尺寸,捕捉納米級的極小顆粒,有效控制微污染變得日益重要。
戈爾微濾膜將最高截留率和無可比擬的流速完美結(jié)合,使得由此制造的PTFE濾芯能夠提高生產(chǎn)率和制程良率。
對于可靠性要求極高的應用,我們?yōu)闉V芯制造商提供符合他們應用所需,在截留率和流速不打折扣的高品質(zhì)微濾膜。我們高截留率和流速的微濾膜確保可重復的高性能、一致的品質(zhì)和出色的高潔凈度。
過濾技術(shù)領域數(shù)十年的創(chuàng)新與專長
我們在制造膨體聚四氟乙烯和控制其微觀結(jié)構(gòu)方面積累的深厚專業(yè)知識,可以讓微濾膜增加截留率的同時也可以實現(xiàn)更高的通量,我們還能夠根據(jù)特定用途來賦予微濾膜相應的特性。
戈爾不只是一家薄膜公司,我們還是過濾解決方案的全球?qū)<?。四十多年來,我們提供空氣、氣體、液體和顆粒過濾解決方案,幫助合作伙伴凈化制程、提高良率和控制成本。
我們將繼續(xù)深耕液體過濾產(chǎn)品市場,樹立行業(yè)標桿,為最關(guān)鍵的半導體和微電子制程提供高品質(zhì)、高性能和高可靠性的微濾膜。隨著芯片設計日益精密,我們將繼續(xù)開發(fā)新的微濾膜,幫助濾芯制造商能夠跟上行業(yè)需求和挑戰(zhàn),提高制程良率。
產(chǎn)品方案
通過研發(fā)和廣泛的應用測試,我們開發(fā)了一系列戈爾微濾膜,可滿足多種關(guān)鍵應用和微過濾器件的應用需求。我們提供不同孔徑的微濾膜,協(xié)助濾芯廠家快速開發(fā)高截留率和高通量的濾芯,同時也能針對不同應用也提供定制尺寸的微濾膜。
憑借戈爾的全球制造基地和供應鏈,我們能夠快捷地向亞洲、美洲和所有地區(qū)的制造商分享我們的專業(yè)知識和提供ePTFE微濾膜,以滿足這個不斷創(chuàng)新的行業(yè)所要求的快速交付需求。
材料結(jié)構(gòu) 孔徑參考尺寸(μm) 功能/應用 疏水膜(ePTFE) 光膜 0.015至10 腐蝕性化學品和溶劑型應用 PP Net覆膜 0.1至1.0 覆膜以增強支撐和強度 親水膜(ePTFE) 光膜 0.1至10 水基工藝
如需了解有關(guān)我們獨特的微濾膜以及可以如何滿足您的項目時間的更多信息,請即聯(lián)系我們。
應用
40 多年來,戈爾的微濾膜在多種關(guān)鍵的工業(yè)液體過濾產(chǎn)品和系統(tǒng)中得到成功驗證,用于:
- 半導體制程:在邏輯和存儲芯片制造過程中,戈爾微濾膜成功地過濾掉納米級顆粒和有害污染物。用戈爾微濾膜制造的濾芯可用于晶圓清潔設備,以減少晶圓缺陷。戈爾微濾膜在截留率與液體流速之間的平衡達到業(yè)內(nèi)最佳的水平,從而在不影響產(chǎn)量的情況下實現(xiàn)了制程高良率。
- 微電子制造:戈爾微濾膜可提高 LED/OLED平板顯示器(FPD)和其他微電子產(chǎn)品的良率,降低擁有成本。我們的微濾膜還可以為傳感器和其他微電子器件生產(chǎn)制造提供始終如一的高性能和高品質(zhì),同樣值得制造商信賴。
- 高純度化學品生產(chǎn):戈爾的ePTFE微濾膜本身具有化學惰性,可用于半導體級化學品生產(chǎn),確保在化學品生產(chǎn)過程中減少顆粒,實現(xiàn)極高純度。
您有新的液體管理項目需要高品質(zhì)和可靠的微濾膜?立即聯(lián)系我們,了解我們可以如何滿足您的應用需求和要求。
特點和優(yōu)點
戈爾微濾膜具有其他過濾材料所不能達到的特性,能夠經(jīng)受具挑戰(zhàn)性的環(huán)境條件和嚴苛的操作要求,包括:
- 清潔、不脫落的薄膜
- 極佳的抗化學腐蝕和耐熱性
- 疏水膜和親水膜可選
- 獨特的ePTFE微孔結(jié)構(gòu),具有均勻一致的濾膜特性
- 提供0.015 μm至10 μm不同孔徑級別的產(chǎn)品
- 不同批次以及卷料的膜產(chǎn)品一致性好
對于濾芯制造商而言,我們業(yè)內(nèi)領先的微濾膜具有多項優(yōu)點,可確保在半導體和微電子制造工藝中的可靠性,例如:
- 經(jīng)驗證在給定的截留水平下,具有更高的液體流速
- 始終如一的高品質(zhì)和可重復的高性能
- 可靠過濾納米級顆粒和有害污染物
- 減少晶圓缺陷,提高制程良率
- 性能和可靠性在過往數(shù)十年的諸多應用得到驗證
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如何購買
戈爾微濾膜繼續(xù)為半導體和微電子制造以及高純度化學品生產(chǎn)中使用的含氟聚合物濾芯樹立高性能、高品質(zhì)和可靠性的行業(yè)標準。我們提供各種孔徑、截留率和流速的卷膜,可根據(jù)您的不同應用進行定制。
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資源
規(guī)格書:應用于半導體和微電子制程的GORE?微濾膜
數(shù)據(jù)表格, 1.02 MB
近期新聞
由中國水泥網(wǎng)主辦的主題為“新挑戰(zhàn)、新格局、新生態(tài)”的2022中國水泥產(chǎn)業(yè)峰會暨TOP100頒獎典禮于2022年7月11日在杭州召開,戈爾公司(W. L. Gore & Associates)攜兩大創(chuàng)新產(chǎn)品“GORE ?低阻濾袋”和“GORE ?脫硝催化濾袋”與技術(shù)干貨分享亮相大會現(xiàn)場。
僅用于工業(yè)用途
不可用于食品、藥品、化妝品或醫(yī)療設備等的制造、加工或包裝作業(yè)
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